TY  - BOOK
AU  - Sergeev
AU  - Kuznecov
AU  - Zaharov
AU  - Letâgin
TI  - Naprâženiâ i deformacii v èlementah mikroshem
PY  - 1987///
CY  - Moskva
PB  - Radio i svaz'
KW  - Microelectronică
ER  -